大功率固态调制器为HEPS直线加速器功率源系统自行研制，设计指标包括脉冲高压、脉冲电流、脉冲顶部宽度、重复频率、脉冲顶部宽度(峰峰值)、脉冲重复稳定度(3000脉冲，有效值偏差)，分别为315kV、380A、4μs、50Hz、优于±1%、0.1%。在HEPS直线加速器现场的速调管实际负载下测试结果为：313.26kV、361.84A、4μs、50Hz、±0.97%、0.02%。

脉冲调制器设备为直线加速器的关键设备，已经过一个多月的微波老练和试运行。设备研制团队在高能所“一三五”规划的指引下，在HEPS工程指挥部领导下，历时近4年时间预研，坚持自主创新，攻克一系列脉冲变压器和固态IGBT开关的设计难题和工艺难题，在国内首次成功研制峰值功率为120MW(315kV/380A)的装置运行用大功率固态调制器，打破了国外供应商的垄断，性能指标达到国际同类设备水平，其中脉冲重复稳定度指标相比人工线型调制器提高近一个量级，为HEPS直线加速器微波相位稳定度和束流品质的提高打下了坚实的技术基础。

在设备研制过程中， HEPS工程所在地北京市怀柔区企业北京大有科能科技有限公司在设备加工和工艺改进方面给予了大力支持。

HEPS直线加速器速调管(左)和调制器(右)

固态调制器速调管负载测试波形